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Maskless direct laser writing with visible light: Breaking through the optical resolving limit with
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:2014.3.28
  • 页码:123102-
  • 相关项目:蓝光激发SbTe基半导体薄膜材料光学非线性效应诱导的亚波长光斑形成特性与纳米光刻应用的基础研究
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