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Thermodynamics of the gas-phase reactions in chemical vapor deposition of silicon-carbide with Methy
  • 期刊名称：Theor. Chem. Accounts
  • 时间：0
  • 页码：1-22
  • 语言：中文
  • 相关项目：CVD/CVI制备SiC的气相反应机理研究
作者： 苏克和|
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