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声表面波NO_2传感器敏感膜研究进展
  • ISSN号:1000-9787
  • 期刊名称:《传感器与微系统》
  • 时间:0
  • 分类:TP212.2[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]中南大学机电工程学院,湖南长沙410083, [2]中南大学高性能复杂制造国家重点实验室,湖南长沙410083
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(91023031); 中南大学2011年度中央高校基本科研业务费,青年教师助推项目(2011QNZT059); 华南理工大学表面功能结构先进制造广东普通高校重点实验室开放基金重点资助项目(SFS—KF201006K)
中文摘要:

由于工业检测、环境监测、医学监测等领域的需求,高性能NO2传感器得到了广泛的研究。声表面波传感器技术的发展为研发高灵敏度、高稳定性、响应快速、小型化的NO2传感器提供了极大的潜能。总结了近30年来声表面波NO2传感器敏感膜的研究现状,并根据现有的研究和传感器的应用需求,深入探讨了声表面波NO2传感器敏感膜面临的挑战和发展趋势。

英文摘要:

High-performance NO2 sensors are researched based on the needs of industry detection, environment monitoring, medical monitoring, and so on. The development of surface acoustic wave ( SAW ) sensor technology provides a great potential for manufacturing miniaturized NO2 sensor with high sensitivity, high stability and fast response. The development of the sensitive film applied in SAW NO2 sensor in the past 30 years is summarized, the challenges and development trends of SAW NO2 sensor sensitive film are discussed according to current research and application requirements of sensor.

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期刊信息
  • 《传感器与微系统》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
  • 主编:吴亚林
  • 地址:哈尔滨市南岗区一曼街29号四十九所
  • 邮编:150001
  • 邮箱:st_chinasensor@126.com
  • 电话:0451-82510965
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-9787
  • 国内统一刊号:ISSN:23-1537/TN
  • 邮发代号:14-203
  • 获奖情况:
  • 获全国优秀科技期刊三等奖,获1996年度黑龙江省科技期刊评比,优秀科技期刊壹等奖,获《CAJ-CD》执行优秀奖,获信息产业部2001-2002年度电子科技期刊规范化奖,获信息产业部2003-2004年度优秀电子科技期刊奖,获信息产业部2005-2006年度优秀电子科技期刊奖,获工业和信息化部2007-2008年度电子精品科技期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版)
  • 被引量:10819