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Energy Distribution of Ions Incident on Radio-Frequency Biased Electrodes in External Magnetic Field
  • ISSN号：1009-0630
  • 期刊名称：《等离子体科学与技术：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：O536[理学—等离子体物理;理学—物理] TM311[电气工程—电机]
  • 作者机构：[1]School of Science, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China, [2]School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116023, China
  • 相关基金：supported by National Natural Science Foundation of China （No. 10605008）
作者： 邹秀[1], 冯小兵[1], 邱明辉[1], 刘金远[2], 宫野[2]
关键词： 离子能量分布, 外部磁场, 离子分布, 射频, 电极, 事件, 磁场模型, 数值研究, radio-frequency, plasma sheath, magnetic field
中文摘要：

E-mail address of ZOU Xiu： zouxiu@djtu.edu.cn

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期刊信息
  • 《等离子体科学与技术：英文版》
  • 主管单位:中国科学院 中国科协
  • 主办单位:中国科学院等离子体物理研究所 中国力学学会
  • 主编：万元熙、谢纪康
  • 地址：合肥市1126信箱
  • 邮编：230031
  • 邮箱：pst@ipp.ac.cn
  • 电话：0551-5591617 5591388
  • 国际标准刊号：ISSN：1009-0630
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1187/TL
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,英国科学文摘数据库
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