采用对靶溅射技术制备了多相共存的Fe-氧化物薄膜.X射线衍射和X射线光电子能谱的测试表明薄膜存在有多相:Fe,Fe3O4,γ-Fe2O3,FeO.高分辨透射电子显徽镜结果表明薄膜由柱状颗粒结构组成,其中核心是未氧化的Fe,外壳为Fe的氧化物.在室温时,低场正磁阻和高场负磁阻共存于Fe-氧化物薄膜中,利用壳层模型给出了初步解释。非线性电流-电压曲线和光生伏特效应进一步验证了薄膜的隧穿电导特性.