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A new capacitive displacement sensor with nanometer accuracy and long range
  • ISSN号：1530-437X
  • 期刊名称：IEEE Sensors Journal
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：基于时空变换的空间精密位移测量软细分方法研究
作者： Kai Peng|Ziran Chen|Hongji Pu|Zhicheng Yu|
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