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Subsurface defect of the SiOx film imaged by atomic force acoustic microscopy
  • ISSN号：0143-8166
  • 期刊名称：Optics and Lasers in Engineering
  • 时间：0
  • 页码：1108-1112
  • 语言：英文
  • 相关项目：基于UAFM的纳米尺度无损检测技术及在电子封装中的应用研究
作者： Wu Bin|Zhang Gaimei|Wu Zaiqi|He cunfu|
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