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Oxide precipitate nucleation at 300 °C in low resistivity n-type Czochralski Si
  • ISSN号：1862-6300
  • 期刊名称：Physica Status Solidi A-Applications and Materials
  • 时间：2013.9.9
  • 页码：2592-2599
  • 相关项目：重掺杂对直拉硅中原生以及热处理诱生缺陷的影响
作者： 张新鹏|傅茂森|马向阳|杨德仁|Jan vanhellemont|
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