表面形貌的参数评定算法的准确性直接影响其评定结果.对ISO25178-2中规定的幅度参数、空间参数和混合参数进行了算法实现,并利用美国国家标准化研究院(NIST)提供的标准数据,与NIST的标准软件进行了比对实验,实验结果表明了所开发区域法参数评定算法的准确性.