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Low temperature deposition of hydrogenated nanocrystalline SiC films by helicon wave plasma enhanced
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology A
  • 时间：0
  • 页码：1234-1239
  • 语言：英文
  • 相关项目：纳米晶态SiC薄膜微结构调整及其发光的表面等离激元增强
作者： 滕晓云|韩理|丁文革|路万兵|傅广生|于威|
同期刊论文项目
纳米晶态SiC薄膜微结构调整及其发光的表面等离激元增强
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