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An AFM-based methodology for measuring axial and radial error motions of spindles
  • ISSN号:0957-0233
  • 期刊名称:Measurement Science and Technology
  • 时间:2014.5
  • 页码:055007-
  • 相关项目:采用弹性工艺系统在回转曲面上加工微纳结构的新方法研究
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