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A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipm
  • ISSN号：0030-4026
  • 期刊名称：Optik
  • 时间：2013
  • 页码：6861-6865
  • 相关项目：步进扫描工件台同步运动控制策略及方法研究
作者： Lanlan Li|Song Hu|Lixin Zhao|Ping Ma|Jinlong Li|Lingna Zhong|
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