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Single closed fringe pattern phase demodulation in alignment of nanolithography
  • ISSN号：0030-4026
  • 期刊名称：Optik
  • 时间：2013
  • 页码：818-823
  • 相关项目：步进扫描工件台同步运动控制策略及方法研究
作者： Feng Xu|Song Hu|Yong Yang|Jinlong Li|Lanlan Li|
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