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Deposition, characterization and optimization of zinc oxide thin film for piezoelectric cantilevers
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:2012.6.6
  • 页码:9510-9517
  • 相关项目:高度集成的非线性宽频带电磁振动能量采集器的研究
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