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绝缘衬底对CVD生长石墨烯的影响研究进展
  • ISSN号:1005-023X
  • 期刊名称:《材料导报》
  • 时间:0
  • 分类:TB321[一般工业技术—材料科学与工程] O484[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明650093, [2]中国科学院宁波工业技术研究院,宁波315201
  • 相关基金:国家自然科学基金(51165016)
中文摘要:

石墨烯自从2004年问世之后,由于独特的结构和优异的性能很快便成为了碳素家族的明星而引起了各界的关注。石墨烯独特的电学性能使其有望替代硅成为下一代半导体工业的主角。然而要实现石墨烯电子器件的构建,必须先解决在绝缘或半导体衬底上直接制备石墨烯的难题。综述了近几年不同绝缘衬底对化学气相沉积法制备石墨烯所产生的影响,分析比较了不同绝缘衬底的优缺点,并展望了石墨烯的发展及应用前景。

英文摘要:

Graphene has caught wide attention due to its unique and excellent properties since its first isolation in 2004. Due to its outstanding performance such as high carrier mobility, high elasticity and optical transparency, graphene is expected to become the potential functional material which is applied to semiconductor industry. Although metabcatalyzed chemical vapor deposition could achieve the grown graphene replaced the underlying dielectric suh- strates by the post-removal of metal, it still cannot avoid the metal contaminations or damage of graphene film. It is necessary to prepare a graphene film which directly grows on an insulating substrate, when the graphene is used in electronic devices. Herein, the recent progress and some important research results in graphene directly grown on in- sulating substrates are introduced, and further applications based on graphene are briefly introduced.

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期刊信息
  • 《材料导报:纳米与新材料专辑》
  • 主管单位:重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
  • 主办单位:重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
  • 主编:
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  • 邮编:401121
  • 邮箱:matreved@163.com
  • 电话:023-67398525
  • 国际标准刊号:ISSN:1005-023X
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1078/TB
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  • 被引量:3397