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Influence of Sputtering Gas Pressure on High-Frequency Soft Magnetic Properties of FeCoN Thin Film
  • ISSN号:0018-9464
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Magnetics
  • 时间:2011.10.10
  • 页码:3921-3923
  • 相关项目:IC工艺下高频铁磁薄膜制备及其复杂磁各向异性构建
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