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Electrostatic pull-in instability in MEMS/NEMS: A review
  • ISSN号：0924-4247
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间：2014.8.1
  • 页码：187-218
  • 相关项目：静电驱动纳米定位系统的微扰动作用机理与非线性动力学行为研究
作者： Zhang, Wen-Ming|Yan, Han|Peng, Zhi-Ke|Meng, Guang|
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