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中文摘要：
随着纳米制造装备和技术的迅速发展，对定位和驱动系统的行程、速度和精度指标要求越来越高。本项目旨在研究纳米制造装备中复杂环境下纳米定位系统的耦合非线性动力学问题，研究基于MEMS技术的高速、高精度、大行程梳齿机构的静电驱动原理，研究微扰动作用下的响应畸变特性，研究多场耦合作用下静电驱动纳米定位系统动力学建模及分析方法，揭示复杂环境下微扰动对耦合系统非线性振动的影响规律，研究纳米精度运动生成中的振动控制与扰动补偿方法。本项目研究将为解决纳米制造装备中纳米定位系统的微扰动作用机理与响应畸变特性、非线性动力学难题提供理论基础和技术保证，对促进纳米制造系统动力学与控制学科发展具有重要的意义。
结论摘要：
英文主题词Electrostatic actuation；Nanomechanical system；Scaling effect；Surface effect；Dynamics
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