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The effect of substrate bias on titanium carbide/amorphous carbon nanocomposite films deposited by f
  • ISSN号:0168-583X
  • 期刊名称:Nuclear Instruments and Methods in Physics Researc
  • 时间:2013.7.15
  • 页码:115-118
  • 相关项目:低能离子作用下亚稳态超硬纳米复合结构的形成研究
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