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基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断
  • ISSN号：1007-4627
  • 期刊名称：《原子核物理评论》
  • 时间：0
  • 分类：O657.31[理学—分析化学;理学—化学]
  • 作者机构：北京师范大学核科学与技术学院, 教育部射线束技术与材料改性重点实验室, 北京市辐射中心
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(10975020,51171028,11305009)~~
作者： 周晗, 周福增, 伏开虎, 黄杰, 陈琳, 廖斌, 张旭
关键词： 原子发射光谱, 磁过滤阴极弧, 气体流速Saha-Boltzmann方法, 等离子体诊断
中文摘要：

对通过磁过滤阴极真空弧（FCVA）获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断。为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响,采用原子发射光谱（OES）法对FCVA沉积过程中产生的Ti C等离子体进行诊断。利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算,并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究。结果表明,等离子体电离度较高,约为0.8左右且随气流量的变化不大;电子温度和电子密度分别在1×104～2×104K和1023～1024m-3范围内变化,且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势;Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大,表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化。

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期刊信息
  • 《原子核物理评论》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院近代物理研究所 中国核物理学会
  • 主编：肖国青
  • 地址：兰州市31号信箱
  • 邮编：730000
  • 邮箱：npr@impcas.ac.cn
  • 电话：0931-4969371/4
  • 国际标准刊号：ISSN：1007-4627
  • 国内统一刊号：ISSN：62-1131/O4
  • 邮发代号:54-183
  • 获奖情况:
  • 2009年1月获甘肃省优秀期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:1602