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用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：O484.4[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109 深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(50073016);德国大众汽车基金会资助的中德合作课题项目(Ref.I/77365)
作者： 吴贤勇[1], 付晓明[1], 夏钟福[1], 安振连[1], 张鹏锋[1], 王丽[1], 李军[1]
关键词： 微型化, 氮氧化硅驻极体, 表面电导, 电荷稳定性
中文摘要：

通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166