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Evaluation on 3D micro-ground profile accuracy of micro-pyramid-structured Si surface using an adapt
  • ISSN号:0141-6359
  • 期刊名称:Precision Engineering
  • 时间:2013
  • 页码:918-923
  • 相关项目:微沟槽功能曲表面的双空间精密机械加工研究
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