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高方阻AZO透明导电薄膜的制备和光电特性
  • ISSN号：1003-353X
  • 期刊名称：《半导体技术》
  • 时间：0
  • 分类：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]深圳大学材料学院深圳市特种功能材料实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金(10604041,10674133);广东省自然科学基金;深圳市科技计划(200706)
作者： 叶家聪[1], 李清华[1], 贾芳[1], 朱德亮[1], 曹培江[1], 吕有明[1], 马晓翠[1]
关键词： 磁控溅射, AZO薄膜, 光电特性
中文摘要：

采用磁控溅射法,在Si和玻璃基片上制备了AZO(ZnO∶Al)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外/可见光分光光度计、荧光光谱仪和四极探针等仪器,研究了Al质量分数对薄膜的微观结构和光电特性的影响。研究结果表明,AZO薄膜为纤锌矿结构且呈c轴择优取向,随着Al质量分数的增加,(002)衍射峰强度逐渐减弱;在掺Al质量分数小于4%时,薄膜在可见光范围内的平均透射率大于80%,方块电阻最小值达到514Ω/□,热稳定性小于20%;在室温下,观察到近带边发光峰和绿光发光带。

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编：赵小玲
  • 地址：石家庄179信箱46分箱
  • 邮编：050051
  • 邮箱：informax@heinfo.net
  • 电话：0311-87091339
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-353X
  • 国内统一刊号：ISSN：13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6070