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A Hybrid System-Level Modeling and Simulation Methodology for Structurally Complex Microelectromecha
  • ISSN号:1057-7157
  • 期刊名称:Journal of Microelectromechanical Systems
  • 时间:0
  • 页码:1479-1486
  • 语言:英文
  • 相关项目:创成式微机电系统设计方法研究
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