创成式微机电系统设计方法研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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创成式微机电系统设计方法研究

项目名称：创成式微机电系统设计方法研究
项目类别：面上项目
批准号：50775188
申请代码：E0512
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2008-01-01-2010-12-31

项目负责人：马炳和
负责人职称：教授
依托单位：西北工业大学
批准年度：2007

中文摘要：

从本质上看，国内外现有的 MEMS 系统设计工具都是修订式的。由底层设计方法和体系结构决定，修订式不支持大幅度、高层次方案创新。它仅以现存方案为基础，在靠近 MEMS 物理结构的低抽象水平层次上进行有限修改。因此，无法满足企业的产品创新需求。围绕高层次、大空间的 MEMS 方案创新，研究创成式 MEMS 设计的支持方法、体系结构、主要支持技术问题。通过顶层方案设计、增设功能机构方案层、强化组件模型支持基础等，来获取更高层次和更多品种的 MEMS 创新方案。项目结合实例验证了研究方法的有效性。项目研究可对 MEMS 设计形成重要贡献，有利于提高 MEMS 设计水平，增强 MEMS 产品创新能力，并可为发展新一代的 MEMS CAD 软件提供基础依据。

中文主题词：创成式设计；MEMS 方案创新；设计方法学；支持结构

结论摘要：

英文主题词generative design; MEMS innovation; design methodology; enabling technologies

成果综合统计