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Thermal stability of RuZr alloy thin films as the diffusion barrier in Cu metallization
  • ISSN号：0925-8388
  • 期刊名称：Journal of Alloys and Compounds
  • 时间：2013.11.11
  • 页码：461-464
  • 相关项目：等离子体显示器复合介质保护膜制备及其特性研究
作者： Y. Meng|Z.X. Song|D. Qian|W.J. Dai|J.F. Wang|F. Ma|Y.H. Li|K.W. Xu|
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