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谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测
  • ISSN号:1004-924X
  • 期刊名称:光学精密工程
  • 时间:2012.3.3
  • 页码:514-519
  • 分类:TH744.1[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械] TB92[机械工程—测试计量技术及仪器;一般工业技术—计量学]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.09Q33FQ091)
  • 相关项目:极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究
中文摘要:

为提高上海光源搭建的国内首条软x射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置一变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行了误差分配。针对光斑水平角漂移重复精度的检测,采用白准直原理,构建了测试系统。利用该系统,完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测,其结果为0.67”,满足设计指标1”的要求。对安装调试后的束线进行了总体性能测试,结果均满足谱学显微设计和使用要求。由此表明,提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法,有效保证了束线性能的实现。

英文摘要:

With the aim to improve the unified performance of the first soft Xray spectromicroscopic beamline built in Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF), This paper analyzes the main fac tors that effect the light spot transversal transfer of the spectromicroscopic beamline during wave length scanning by a variableincludedangle plane grating monochromator. It deduces the relation be tween various factors and light spot transversal transfer, and solves the error distribution of the sys tem to ensure the performance of the beamline. A test system for the repeatability of light spot trans versal transfer is built by auto collimation principle and the offline testing of the light spot transversal transfer is finished by using this test system. The result shows that the repeatability is 0.67", which satisfies the technical requirement of 1". The unified performance for the beamline is tested after it is assembled. Obtained results meet the requirements of design and annliemicm. ~nA r, ,~,~ ~.~t~;..~ness of error analysis and testing for the light spot transversal transfer.

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期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编:曹健林
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:gxjmgc@sina.com;gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-924X
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:22699