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基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
  • ISSN号:0254-4164
  • 期刊名称:计算机学报
  • 时间:0
  • 页码:868-874
  • 语言:中文
  • 分类:TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
  • 作者机构:[1]大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室,辽宁大连116023, [2]大连理工大学创新实验学院,辽宁大连116023, [3]大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116023
  • 相关基金:本文课题得到国家“八六三”MEMS重大专项基金(2004AA404260)、国家自然科学基金(50605006,50675025)资助.
  • 相关项目:微制造中有机高聚物超声时效理论与方法研究
中文摘要:

以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellular automata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用Open GL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明:建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟.

英文摘要:

For Isotropic chemical etching properties of glass, an algorithm based on improved continuous cellular automata (CA) model is produced, which develops the traditional CA model. It can be used for wet etching of glass in three-dimensional (3-D) space. To improve the efficiency of algorithm, structure with linked list data is used to store etched cell. With the improvement of the storage mode, a 3-D cellular matrix can be stored in 2-D Array. The result of simulation is displayed with OpenG1 3-D technology. The glass etching simulation program based on common personal computer platforms has been realized with high resolution(4000× 4000 Pixels)and visualizing results in 3-D space. The results of etching experiments are used as comparison to assess the implementations, which show that the model is able to forecast the result of etching glass. This study shows that 3-D CA model is an effective solution to the glass etching process task.

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期刊信息
  • 《计算机学报》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国计算机学会 中国科学院计算技术研究所
  • 主编:孙凝晖
  • 地址:北京中关村科学院南路6号
  • 邮编:100190
  • 邮箱:cjc@ict.ac.cn
  • 电话:010-62620695
  • 国际标准刊号:ISSN:0254-4164
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1826/TP
  • 邮发代号:2-833
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国数学评论(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:48433