项目组在前期研究工作基础上,针对高聚物胶结构中存在的高机械应力问题,通过对SU-8胶超声时效分子模拟和超声时效的研究,明确了超声去除高聚物SU-8胶层中内应力的机理,建立了胶层内应力的测量方法,搭建了一套超声时效实验装置,开展了聚合物超声实验研究。建立了无基底约束的薄膜状胶体溶胀数学模型,利用ANSYS软件进行了考虑基底约束的物质扩散-膨胀仿真计算,并通过UV-LIGA微电铸实验验证了仿真计算结果。建立了基于压痕法的界面结合性能的理论模型,进行了有限元分析和实验验证,从而实现了界面结合性能的定量描述。作为应用研究,进行了微电铸层中内应力超声时效的实验研究,制作了两种微金属实物器件,发表研究论文18篇,录用5篇,其中EI检索论文17篇,申请发明专利4项,其中1项授权。培养博士、硕士研究生共计11名,其中5名毕业、6名在读。本项目研究成果将在高聚物结构内应力、膨胀性和界面结合特性的理论研究方面具有重要学术参考价值和实际应用价值,将为UV-LIGA 技术的应用和发展提供新的理论支持。
英文主题词polymer;ultrasonic relief;expansive character;surface adhesion strength;mechanism