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Fabrication and characterization of MEMS piezoelectric synthetic jet actuators with bulk-micromachin
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2014.7.29
  • 页码：-
  • 相关项目：面向虚拟气动外形控制的微型合成射流器阵列技术
作者： Wang, Shushan|Ma, Binghe|Deng, Jinjun|Qu, Hongdong|Luo, Jian|
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