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基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作
  • 期刊名称:纳米技术与精密工程
  • 时间:0
  • 页码:422-426
  • 语言:中文
  • 相关项目:基于柔性MEMS的人工面神经技术基础研究
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