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Tailoring diffraction-induced light distribution toward controllable fabrication of suspended C-MEMS
  • ISSN号:1094-4087
  • 期刊名称:Optics Express
  • 时间:0
  • 页码:17126-17135
  • 相关项目:面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法
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