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Structure and photoluminescence properties of SiCN films grown by dual ion beam reactive sputtering
  • ISSN号:0042-207X
  • 期刊名称:Vacuum
  • 时间:2014.3
  • 页码:205-207
  • 相关项目:基于ZnO/金属纳米周期结构的等离激元辅助光发射增强研究
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