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Digital moire fringe measurement method for alignment in imprint lithography
  • ISSN号：0030-3992
  • 期刊名称：Optics and Laser Technology
  • 时间：2012.3.3
  • 页码：446-451
  • 相关项目：基于聚合物光致分解膨胀的SED显示器电子发射源纳米缝阵列制造工艺研究
作者： Shao, Jinyou|Ding, Yucheng|Tian, Hongmiao|Li, Xin|Li, Xiangming|Liu, Hongzhong|
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