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Monolithic design of a compliant template orientation stage for step imprint lithography
  • ISSN号：0954-4054
  • 期刊名称：Proceedings of the Institution of Mechanical Engin
  • 时间：2012.2.2
  • 页码：221-228
  • 相关项目：基于聚合物光致分解膨胀的SED显示器电子发射源纳米缝阵列制造工艺研究
作者： Shao, J-Y|Ding, Y-C|Liu, H-Z|Li, X-M|Tian, H-M|Xiao, B-H|
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