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旋转对Cz法硅晶生长过程中热输运和熔体流动影响的数值模拟
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.1[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]同济大学机械与能源工程学院,上海200092
  • 相关基金:国家自然科学基金(51146005); 亚热带建筑科学国家重点实验室开放课题(2010KA01)
中文摘要:

建立了一个120 kg单晶炉的二维轴对称全局模型,分别对无旋转、加入晶体旋转、加入坩埚旋转、同时加入晶体旋转和坩埚旋转的四种工况展开了数值模拟研究。得到了晶体旋转及坩埚旋转对晶体生长过程的拉晶功率、炉内温度分布和熔体流动的影响;得到了不同晶体长度下拉晶炉内的温度分布以及熔体流动的变化规律。结果显示,加入晶体旋转对晶体生长过程的拉晶功率、温度分布和熔体流动的影响小于坩埚旋转的影响;随着晶体长度的增加,晶体旋转及坩埚旋转对温度分布和熔体流动的影响不断减小。因此在单晶炉设计和优化过程中应考虑整个晶体生长过程。

英文摘要:

A two-dimensional axial symmetric global model of 120 kg single-crystal furnace was developed to simulate the four working conditions of without rotating,crystal rotating,crucible rotating,both crystal and crucible rotating. The effect of rotation on the growth power,temperature distribution and melt flow during the crystal growth were obtained; the variation trends of the temperature distribution and melt flow change as the crystal length increasing were also obtained. The result shows that the effect of the crystal rotating on the growth power,temperature distribution and melt flow is less-than the crucible rotating; the effect of the rotation on the temperature distribution and melt flow decreases as the crystal length increasing. Therefore,it is important to concern the whole crystal growth process during the designing and optimization of the furnace.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943