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基于压电陶瓷驱动器（PZT）驱动的二维微动工作台系统及控制方法的研究
  • ISSN号：1001-3881
  • 期刊名称：《机床与液压》
  • 时间：0
  • 分类：TP242[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116023
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（50135040;69774020）
作者： 张建雄[1], 孙宝元[1], 王红艳[1]
关键词： PZT, 微动工作台, 柔性铰链, 前馈, 模糊控制, PZT, Micro - positioner, Flexure hinges , Feedback, Fuzzy control
中文摘要：

介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台，该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析，使用自制的电容位移传感器进行位移检测，采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制，结果表明：该控制方法既具有开环控制的稳定性，又具有闭环控制高精度的特点。实验证明了该方法的有效性。

英文摘要：

A novel 2 - DOF nanopositioning stage drived by PZT was developed, it is based on the dual - flexure - hinge structure. The stage was analyzed by ANSYS, position close examination was performed by capacitance sensor, Efficiency of the method was validated through the experiments.

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期刊信息
  • 《机床与液压》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会生产工程分会 广州机械科学研究院
  • 主编：闵新和
  • 地址：广州市黄埔区茅岗路828号
  • 邮编：510700
  • 邮箱：jcy@gmeri.com
  • 电话：020-32387859
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-3881
  • 国内统一刊号：ISSN：44-1259/TH
  • 邮发代号:46-40
  • 获奖情况:
  • 2011荣获第四届广东省优秀科技期刊一等奖2010年...
  • 国内外数据库收录:
  • 中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:28254