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沉积温度和速率对电子束沉积ZnSe 薄膜应力特性的影响
  • 期刊名称：浙江大学学报，43（11），pp2059-2061，2009/11/1（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：原子层沉积光学薄膜的生长与性能研究
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