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沉积速率和氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响
  • 期刊名称：物理学报，58（10），pp7025-7029，2009/10/1（SCI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：原子层沉积光学薄膜的生长与性能研究
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