位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
  • ISSN号：0254-3087
  • 期刊名称：《仪器仪表学报》
  • 时间：0
  • 分类：TH74[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关基金：属国家自然科学基金资助项目(50275138)研究内容.
作者： 陈本永, 周砚江, 孙政荣, 吴晓维, 李达成
关键词： 纳米测量, 双频激光, 合成波长, 相位检测
中文摘要：

本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪;针对该干涉仪的光路结构特点,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测;实验测量结果表明该定位方法能够实现0.41nm的定位精度.

同期刊论文项目
基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究
期刊论文 7 会议论文 5 著作 1
同项目期刊论文
一种新型的干涉条纹软件计数方法及其实现研究
精密直线位移工作台单神经元自适应PID控制方法研究
大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势
Code counting of optical fringes: methodology and realization
纳米测量技术的挑战与机遇
磁悬浮式纳米级微动工作台的理论分析与建模研究
期刊信息
  • 《仪器仪表学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国仪器仪表学会
  • 主编：张钟华
  • 地址：北京东城区北河沿大街79号
  • 邮编：100009
  • 邮箱：yqyb@vip.163.com
  • 电话：010-84050563
  • 国际标准刊号：ISSN：0254-3087
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2179/TH
  • 邮发代号:2-369
  • 获奖情况:
  • 1983年评为机械部科技进步三等奖,1997年评为中国科协优秀科技期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:42481