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基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究
  • 项目名称：基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50275138
  • 申请代码：E051102
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2003-01-01-2005-12-01
  • 项目负责人：陈本永
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：浙江理工大学
  • 批准年度：2002
中文摘要：

本项目提出利用合成波长对光学干涉条纹进行细分以实现大范围高精度纳米测量的新方法，构筑了在同一干涉仪中能同时实现大范围测理和超高精度测理的新型纳米测量系统，旨在为现代设计与制造所涉及的微机电技术提供新的纳米级甚至皮米级的大范围纳米测量手段。并构筑系统实验平台验证理论成果。

中文主题词： 纳米测量；合成波长；条纹细分；激光干涉仪
结论摘要：

英文主题词Nanometer measurement; Synthetic wavelength; Fringe subdivision; Laser interferometer

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 7
  • 5
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  • 0
  • 1
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著作
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