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基于LabVIEW的半导体材料检测平台
  • ISSN号:1002-1841
  • 期刊名称:《仪表技术与传感器》
  • 时间:0
  • 分类:TP274[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:武汉科技大学信息科学与工程学院,湖北武汉430081
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(61174106)
中文摘要:

设计制作了一套以LabVIEW和USB-6009采集卡为检测系统的半导体材料特性检测平台,在温度自主可调的电加热炉的测试环境下,测量不同温度下半导体材料的电阻率和电动势率。测试平台已正式投入运行,在测试过程中实现温度、电压等各项数据的实时处理、显示及保存。根据实验结果可知,系统测量得到的电阻率和电动势率误差控制在允许误差范围以内,实验得到的曲线稳定。

英文摘要:

A testing platform was designed to measure semiconductor materials' resistivity rate and electric potential rate in the variable temperature testing environment of electric furnace,which was based on LabVIEW and USB- 6009 acquisition card.The testing platform has already been put into running formally,temperature,voltage and other data were implemented conveniently in real-time. According to the experimental results,the resistivity and electromotive error measured by the system are in permissible error range,and the curve gotten by the experiment is stable.

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期刊信息
  • 《仪表技术与传感器》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:沈阳仪表科学研究院
  • 主办单位:沈阳仪表科学研究院
  • 主编:刘凯
  • 地址:沈阳市大东区北海街242号
  • 邮编:110043
  • 邮箱:bjb@17sensor.com
  • 电话:024-88718630 88718620
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-1841
  • 国内统一刊号:ISSN:21-1154/TH
  • 邮发代号:8-69
  • 获奖情况:
  • 2007年获得北方优秀期刊奖,2007年荣获机械工业期刊质量评审一等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 波兰哥白尼索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:16968