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基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计
  • ISSN号:1673-3851
  • 期刊名称:浙江理工大学学报
  • 时间:0
  • 页码:538-542
  • 分类:TH741[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]浙江理工大学纳米测量技术实验室,杭州310018
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(90923026,50827501);浙江省自然科学基金项目(Y1110495)
  • 相关项目:基于法拉第旋光效应的激光偏振干涉纳米测量原理与方法
中文摘要:

描述了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量方法及其系统,通过分析测量平面镜顺时针和逆时针转动时光路结构的几何关系确定了该系统实施纳米位移测量应满足的条件,重点讨论了角锥棱镜固定时测量平面镜、波片和角锥棱镜三者之间的位置关系,实现了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计,得出了位移测量范围为-10-10mm时允许被测对象转动范围最大的系统参数,为该系统的研制奠定了技术基础。

英文摘要:

The laser heterodyne interferometric measurement system based on the Faraday Effect is described. By analyzing the geometric relationship of the optical configuration of the system when the meas- urement mirror is rotated in clockwise and counterclockwise, the conditions to ensure the system to realize nanometer displacement measurement are determined. The position relationships of the measurement mir- ror, the wave plate and the retroreflector are discussed in detail when the retroreflector is fixed. And then the optimization design for the system is implemented. The optimal parameters of the system with the displacement range of -10 -10 mm is obtained while the measured object has a capable of maximal rotary angle. This provides a technical support for the development of the system.

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期刊信息
  • 《浙江理工大学学报:社会科学版》
  • 主管单位:浙江省教育厅
  • 主办单位:浙江理工大学
  • 主编:陈文兴
  • 地址:杭州下沙高教园区(西区)
  • 邮编:310018
  • 邮箱:journal@zstu.edu.cn
  • 电话:0571-86843150 86843151 86843452
  • 国际标准刊号:ISSN:1673-3851
  • 国内统一刊号:ISSN:33-1338/TS
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 全国中文核心期刊,全国高校自然科学优秀学报
  • 国内外数据库收录:
  • 中国国家哲学社会科学学术期刊数据库
  • 被引量:288