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激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究
  • ISSN号:1673-3851
  • 期刊名称:浙江理工大学学报
  • 时间:2013.9.1
  • 页码:685-688
  • 分类:TH741[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械] TP274.2[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]浙江理工大学纳米测量技术实验室,杭州310018
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(51205365);浙江省自然科学基金项目(Y1110495);浙江省教育厅科研项目(Y201019094和ZD2007004)
  • 相关项目:基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法研究
中文摘要:

探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置。在恒温恒湿实验室中,分别以7000、10000和13000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283388.8、285830.9、286533.2μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36μm。结果表明:选取7000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确。

英文摘要:

This paper discusses zero phase detection method of laser synthetic wavelength interferometer; establishes zero phase detection experimental apparatus based on DSP chip TMS320F28335; uses two capture units to obtain the rising edge time difference of two single wavelength interference signals and calculates the position of zero phase point with linear regression fitting method; conducts experiments respectively with 7 000, 10 000 and 13 000 fitting points in the laboratory with constant temperature and humidity. The experimental result shows that mean values of zero crossing point of reference mirror are respectively 283 388. 8, 285 830. 9 and 286 533. 2 μm and standard deviations are respectively 0. 25, 0. 43 and 0. 36μm. The result shows that the standard deviation is the smallest and the zero crossing point obtained through calculation is the most accurate when 7 000 fitting points are used for calculation.

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期刊信息
  • 《浙江理工大学学报:社会科学版》
  • 主管单位:浙江省教育厅
  • 主办单位:浙江理工大学
  • 主编:陈文兴
  • 地址:杭州下沙高教园区(西区)
  • 邮编:310018
  • 邮箱:journal@zstu.edu.cn
  • 电话:0571-86843150 86843151 86843452
  • 国际标准刊号:ISSN:1673-3851
  • 国内统一刊号:ISSN:33-1338/TS
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 全国中文核心期刊,全国高校自然科学优秀学报
  • 国内外数据库收录:
  • 中国国家哲学社会科学学术期刊数据库
  • 被引量:288