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纳米Si-SiOx和Si-SiNx复合薄膜的
  • 期刊名称：物理学报， 2004年第11 期 3818页。
  • 时间：0
  • 相关项目：纳米Si-in-SiNx 和Si-in-SiC高效发光薄膜
作者： 纪爱玲 马利波 刘澂 王永谦
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