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Deep UV laser etching of GaN epilayers grown on sapphire substrate
  • ISSN号:0924-0136
  • 期刊名称:Journal of Materials Processing Technology
  • 时间:2012.2.2
  • 页码:492-496
  • 相关项目:具有损伤自动诊断功能的智能高耸结构系统的基础研究
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