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硅基二维平板光子晶体高Q微腔的制作和光谱测量
  • ISSN号:1000-3290
  • 期刊名称:《物理学报》
  • 时间:0
  • 分类:O734[理学—晶体学]
  • 作者机构:[1]中国科学院物理研究所光物理重点实验室,北京100190
  • 相关基金:国家自然科学基金(批准号:10525419); 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB922002)资助的课题~~
中文摘要:

利用微加工技术,在SOI上制作出了高Q值的光子晶体微腔,Q值可以达7×10~4以上,为后续的光与物质相互作用和量子信息方面的实验奠定了基础.实验结果与理论模拟符合得较好.通过三维时域有限差分法模拟,得到光子晶体微腔的Q值为1.2×10~5左右.

英文摘要:

We fabricate a high Q photonic crystal cavity on the top of SOI(sihcon on insulator) with EBL(electron beam lithography) and ICP(inductively coupled plasma).The value of Q can reach 7×10~4.It provides basic condition for the following experiments,for example for the study of interaction between light and substance.The high Q cavity also provides good circumstance for the quantum information.The theoretical result of the value of Q is 1.2×10~5 from FDTD(finite difference time domain) simulation.

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期刊信息
  • 《物理学报》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会 中国科学院物理研究所
  • 主编:欧阳钟灿
  • 地址:北京603信箱(中国科学院物理研究所)
  • 邮编:100190
  • 邮箱:apsoffice@iphy.ac.cn
  • 电话:010-82649026
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3290
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1958/O4
  • 邮发代号:2-425
  • 获奖情况:
  • 1999年首届国家期刊奖,2000年中科院优秀期刊特等奖,2001年科技期刊最高方阵队双高期刊居中国期刊第12位
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:49876