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SiC单晶片切割力建模与自适应控制
  • ISSN号：1003-8728
  • 期刊名称：机械科学与技术
  • 时间：2015
  • 页码：423-428
  • 分类：TG48[金属学及工艺—焊接] TP273.2[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]西安理工大学机械与精密仪器工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(51175420);陕西省教育厅基金项目(00S1409)资助
  • 相关项目：大直径超薄SiC单晶片高速-超声切割机理及参数控制
作者： 李淑娟|杜思明|王鑫|张恒|
关键词： SI, C单晶片, 系统辨识, F检验, 自适应控制
中文摘要：

Si C单晶因优良的物理和机械性能而大量用于大功率器件和IC行业。但由于材料的高硬度和高脆性,使其加工过程变得很困难。为此,分析了Si C单晶片切割过程,建立切割过程模型,通过F检验法进行系统阶次辨识,采用遗忘因子递推最小二乘算法在线估计模型参数,建立进给量与切割力的差分方程,设计基于最小方差自校正的切割力控制器,并进行实验验证。结果表明:控制器能够很好的跟踪不同信号,具有良好的鲁棒性,提高了Si C单晶片的加工效率和表面质量。

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期刊信息
  • 《机械科学与技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:
  • 主办单位:西北工业大学
  • 主编：姜澄宇
  • 地址：陕西西安友谊西路127号
  • 邮编：710072
  • 邮箱：mst@Nwpu.edu.cn
  • 电话：029-88493054 88460226
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-8728
  • 国内统一刊号：ISSN：61-1114/TH
  • 邮发代号:52-193
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:21878