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Effects of ion bombardment on microcrystalline silicon growth by inductively coupled plasma assistan
  • ISSN号:1674-7348
  • 期刊名称:Science China Physics,Mechanics & Astonomy
  • 时间:2012.9.9
  • 页码:2070-2075
  • 相关项目:纳米多层发光薄膜Yb-Er空间分布及其敏化机制研究
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