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Study of the damage produced in 6H-SiC by He irradiation
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：2011.11.11
  • 页码：452-456
  • 相关项目：高能重离子辐照注氢碳化硅晶体内部缺陷演化的研究
作者： Li, B. S.|Zhang, C. H.|Zhang, H. H.|Shibayama, T.|Yang, Y. T.|
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